Identificazione di disallineamento — o mancata corrispondenza delle cellule — in acquaforte anisotropa richiede un metodo di calcolo chiamato "tempo di compensazione". Questo può essere visto quando si stanno risolvendo un algoritmo utilizzato quando per simulare il processo di incisione di silicio in una soluzione di EDP, KOH o TMAH. Quando viene utilizzato il metodo di automi cellulari (CA) per la simulazione di acquaforte, il substrato è rappresentato da singole celle che sono contenute all'interno di una struttura di reticolo cristallino.
Istruzioni
• Scrivere l'equazione per determinare il numero di passi di etch. Ciò è espresso come dove = [M / e (s) T] t. Viene utilizzato un valore predefinito pari a 1 per T. Il valore di M è un multiplo di T. e (s) Il valore di e (s) è [0,1].
• Scrivere l'equazione per determinare il tasso equivalente etch di superficie del materiale. Ciò è espresso come:
E (s) = M/N (t) T = M / (M / e (s) T) T = e (s).
Se M non è un multiplo di e (s) T, una mancata corrispondenza si verifica perché l'acquaforte della cella successiva non si avvia immediatamente.
• Prendere nota per "k", che viene utilizzato per identificare un passo di etch. Il passo successivo di etch nel processo viene etichettato come k + 1. Nota il saldo del tempo per un passo di etch come Tb(k).
• Scrivere l'equazione utilizzata per calcolare la compensazione del tempo. Questa equazione è espressa come:
M(k) > e (s) (T + Tb(k-1)
quindi
T(k) = T + Tb(k-1)
M(k+1) = M(k) – E(s)T(k)
TB(k) = 0
altro
T(k) = M (k) /E(s)
M(k+1) = 0
TB(k) = T – T(k)
Il risultato finale del metodo di compensazione del tempo si traduce in un'equazione che viene espresso come:
E (s) = M(k)/T(k) = e (s) per un passaggio di etch k.